a

LITEK veiklos koordinatorius
VĮ „Fizikos instituto mokslo ir technologijų parkas“

Savanorių pr. 235 Vilnius, LT-02300
Telefonas: 8 5 266 16 40
Faksas: 8 5 260 23 17
El. paštas: info@litek.lt




LITEK > Pranešimai  > Daugiasluoksnių optinių dangų formavimo technologijos vystymas

Daugiasluoksnių optinių dangų formavimo technologijos vystymas

Magnetroninis dulkinimas (angl. magnetron sputtering, MS) yra viena pagrindinių plonųjų sluoksnių formavimo technologijų. Formuojant kokybiškus dielektrinius sluoksnius optinių dangų taikymams, ši technologija dar tik pradedama naudoti ir yra daugelio mokslininkų susidomėjimo bei tyrimų objektas. Metalų oksidų ploni sluoksniai (optinės dangos) yra formuojamos dulkinant metalus (Nb, Ta, Si, Hf, Zr) reaktyvių dujų (RD), pvz. argono ir deguonies atmosferoje. Paruošti optiniai elementai vėliau naudojami lazerinėje optikoje, optoelektronikos ir kituose optiniuose įrenginiuose.

Lazerinių ir inžinerinių technologijų klasterio (LITEK) narė UAB “Optida”, užsiimanti optinių elementų gamyba, dalyvauja šiuo metu vykstančiame EUROSTARS projekte DEMOS. Kartu su partneriais iš Šveicarijos Evatec AG jie kuria pažangų magnetroninio dulkinimo metodą optinių dangų̨ nusodinimui.

2016 m. birželio mėn. prasidėjęs projektas šiuo metu jau įpusėjo. Pagrindinis projekto tikslas – išvystyti pažangią, didelės spartos daugiasluoksnių optinių dangų̨ formavimo technologiją, kuri leistų užtikrinti mažesnę, cirkonio oksido (ZrO2) ir hafnio oksido (HfO2) sluoksnių pagrindu suformuotų dangų̨ kainą, išlaikant aukštus kokybišką dangą apibūdinančius parametrus: atspindį, atsparumą lazerio spinduliuotei. Pasak “Optida” inžinieriaus technologo ir atsakingojo projekto vykdytojo K. Juškevičiaus jau dabar pasiekti projekto rezultatai yra optimistiški ir žadantys puikius galutinius pasiekimus. Šveicarai EVATEC AG jau sukūrė naują magnetroną, skirtą magnetroninio dulkinimo technologijai, kuris yra optimizuotas cirkonio ir hafnio metalams. Tuo metu Lietuvoje Fizinių ir technologijos mokslų centro (FTMC) Optinių dangų laboratorija bendradarbiaujant atliko dalį UAB “Optidos” užsakytų tyrimų, kur laboratorinėmis sąlygomis buvo sukurtos ir pademonstruotos cirkonio ir hafnio magnetronino dulkinimo technologijos. Sekantis projekto žingsnis – šias technologijas ir EVATEC AG sukurtą magnetroną įdiegti į mašiną, skirtą pramoniniams procesams.

UAB “Optida” hafnį ir cirkonį jau daug metų formuodavo įvairiomis technologijomis, bet įsigijus naująjį reaktorių šiuo metu yra išbandoma šias medžiagas formuoti magnetroninio dulkinimo būdu. Šis būdas, pritaikius technologiją cirkoniui ir hafniui,  optinius elementus pramonei leis pasiūlyti pigiau ir žymiai didesniais kiekiais. Jie taps konkurencingesni Europoje ir visame pasaulyje.